財團法人工業技術研究院 / 量測中心 ITRI / Center for Measurement Standards 展05

本次展出

 AOI設備

   光學系統

   像系統

  影像分析

○  運動控制

  其他

展品資料

 

非接觸式片電阻量測模組:非接觸式片電阻量測模組利用電磁原理,藉由電磁場與材料之耦合關係,達成非接觸量測待測物阻抗特性,相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法,具有可避免樣品損傷,量測速度快,能在高速移動下量測待測物片電阻均勻性等優點,可應用於製程線上檢測,回饋製程參數調整。

展品圖

 

      

 

基本資料

地址

 

新竹市光復路2段321號

業務聯絡人

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陳俊賢

 

jim.chen@itri.org.tw

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公司介紹

公司性質

 

AOI測試服務/技術顧問

公司簡介

 

量測技術發展中心在標準檢驗局與工業技術研究院的共同推動下,於1985年成立。以提升國內業界產品品質,引領產業發展為目標,量測中心運用多年來累積的專業技術與知識,積極推動標準與技術發展、標準與法定計量技術發展、儀器與感測技術發展、計量驗證與創新應用、醫療器材驗證、以及前瞻感測技術發展。

AOI主力產品

 

1. 光學薄膜參數量測儀:開發無機或有機光學薄膜厚度、折射率及消光係數量測技術

2. 光學極化特性量測儀:開發液晶參數(Cell Gap)、相位補償膜(Retardation)及應力量測技術

3. 光譜/色度量測儀:開發微光譜儀、影像光譜儀及二維色彩分析儀等量測技術

4. 3D-IC量測及封測技術:開發紅外共焦顯微鏡、TSV製程檢測反射儀、矽晶圓應力量測儀、金屬薄膜厚度量測儀、chip/wafer 2D/3D缺陷檢測等,提供利用3D堆疊半導體製程及半導體封測所需之檢測工具

5. 觸控面板檢測技術:開發觸控面板多點式手勢功能測試機、非接觸式透明導電膜缺陷檢測模組,提供觸控面板廠商所需的關鍵量測技術模組

6. 捲對捲製程缺陷檢測技術: 透明導電薄膜圖案2D/3D形貌及電性缺陷線上檢測、厚膜均勻性多點線上監測

7. 太陽能電池缺陷檢測技術

8. AMOLED缺陷檢測技術: color filter particle及形貌缺陷線上檢測、透明導電薄膜非接觸阻抗量測