財團法人工業技術研究院 / 量測中心　ITRI / Center for Measurement Standards 展05

本次展出

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展品資料

非接觸式片電阻量測模組：非接觸式片電阻量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非接觸量測待測物阻抗特性，相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法，具有可避免樣品損傷，量測速度快，能在高速移動下量測待測物片電阻均勻性等優點，可應用於製程線上檢測，回饋製程參數調整。

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展品圖

基本資料

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地址

新竹市光復路2段321號

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業務聯絡人

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電子信箱

陳俊賢

jim.chen@itri.org.tw

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電話

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傳真

03-5743718

03-5722383

公司介紹

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公司性質

AOI測試服務/技術顧問

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公司簡介

量測技術發展中心在標準檢驗局與工業技術研究院的共同推動下，於1985年成立。以提升國內業界產品品質，引領產業發展為目標，量測中心運用多年來累積的專業技術與知識，積極推動標準與技術發展、標準與法定計量技術發展、儀器與感測技術發展、計量驗證與創新應用、醫療器材驗證、以及前瞻感測技術發展。

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AOI主力產品

1. 光學薄膜參數量測儀：開發無機或有機光學薄膜厚度、折射率及消光係數量測技術

2. 光學極化特性量測儀：開發液晶參數(Cell Gap)、相位補償膜(Retardation)及應力量測技術

3. 光譜/色度量測儀：開發微光譜儀、影像光譜儀及二維色彩分析儀等量測技術

4. 3D-IC量測及封測技術：開發紅外共焦顯微鏡、TSV製程檢測反射儀、矽晶圓應力量測儀、金屬薄膜厚度量測儀、chip/wafer 2D/3D缺陷檢測等，提供利用3D堆疊半導體製程及半導體封測所需之檢測工具

5. 觸控面板檢測技術：開發觸控面板多點式手勢功能測試機、非接觸式透明導電膜缺陷檢測模組，提供觸控面板廠商所需的關鍵量測技術模組

6. 捲對捲製程缺陷檢測技術: 透明導電薄膜圖案2D/3D形貌及電性缺陷線上檢測、厚膜均勻性多點線上監測

7. 太陽能電池缺陷檢測技術

8. AMOLED缺陷檢測技術: color filter particle及形貌缺陷線上檢測、透明導電薄膜非接觸阻抗量測